[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[14p-B6-5] 集束陽子マイクロビームによりPDMS薄膜内部に埋め込み加工されたMach-Zehnder導波路型光スイッチング素子の開発

〇三浦 聡¹、猿谷 良太¹、川端 駿介¹、三浦 健太¹、加田 渉¹、江夏 昌志²、佐藤 隆博²、神谷 富裕²、Parajuli Raj Kumar¹、花泉 修¹ (1.群馬大理工、2.量研機構高崎研)

キーワード：PBW、光導波路、PDMS