2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

2016年9月14日(水) 12:30 〜 19:15 B7 (展示ホール内)

松尾 直人(兵庫県立大)、東 清一郎(広島大)、宇佐美 徳隆(名大)、米永 一郎(東北大)

18:00 〜 18:15

[14p-B7-14] a-Ge膜のFLA結晶化における場所依存性

〇吉岡 尚輝1、部家 彰1、松尾 直人1、中村 祥章2、横森 岳彦2、吉岡 正樹2 (1.兵庫県立大工、2.ウシオ電機(株))

キーワード：Ge、結晶化、FLA