[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-15] GeSn系IV族半導体薄膜におけるSn導入の制御と効果

〇志村 洋介¹、池 進一^2,3、Gencarelli Federica⁴、竹内 和歌奈²、坂下 満男²、黒澤 昌志^2,5、Loo Roger⁴、中塚 理²、財満 鎭明^2,5 (1.静大院工、2.名古屋大院工、3.学振特別研究員、4.imec、5.名古屋大未来研)

キーワード：GeSn