[14p-C42-1~21] 3.4 Biomedical optics

△ [14p-C42-15] Cell structure imaging with bright and homogeneous nanometric light source

〇Masahiro Fukuta¹, Atsushi Ono², Wataru Inami², Yoshimasa Kawata², Susumu Terakawa³ (1.Shizuoka Univ., 2.RIE, Shizuoka Univ., 3.Tokoha Univ.)

Keywords:Super-resolution microscope, Cathodoluminescence

本発表では，高輝度かつ均一な電子線励起(CL)発光を示すZnO薄膜を用いて，無染色の細胞構造を電子線励起アシスト光学顕微鏡で観察した結果を報告する．今回は，原子層堆積(ALD)法を採用することで，高輝度かつ均一発光なZnO薄膜を成膜した．高輝度かつ均一なCL発光をEXA顕微鏡の光源として用いることにより，高空間分解能に加え，高SN比で試料を観察することに成功した．