PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 コメント (0) 18:30 〜 18:45 [14p-D61-19] 3次元実装構造を有するSTJのための超伝導TSV作製方法 〇森田 浩平1、畠山 聡起1、成瀬 雅人1、明連 広昭1、青柳 昌宏2、田井野 徹1 (1.埼玉大、2.産総研) キーワード:超伝導トンネル接合、貫通電極、3次元実装構造