2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[14p-P10-1~25] 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P10 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[14p-P10-16] アモルファスCd-Ga-Oにおけるポストアニール温度及び雰囲気の効果

佐藤 千友紀1、木村 洋太1、柳 博1 (1.山梨大医工)

キーワード:アモルファス酸化物半導体、薄膜、ポストアニール