13:30 〜 15:30
[14p-P10-16] アモルファスCd-Ga-Oにおけるポストアニール温度及び雰囲気の効果
キーワード:アモルファス酸化物半導体、薄膜、ポストアニール
一般セッション(ポスター講演)
合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)
2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P10 (展示ホール)
13:30 〜 15:30
キーワード:アモルファス酸化物半導体、薄膜、ポストアニール