[14p-P11-1~6] 1.1 応用物理一般・学際領域

[14p-P11-3] 原子間力顕微鏡によるta-C薄膜深紫外線損傷部の観察

〇神津 知己^1,3、山口 誠¹、川口 雅弘²、吉村 雅満⁴ (1.秋田大学、2.都立産技研センター、3.イノコ株式会社、4.豊田工大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、深紫外光、ラマン分光

Tetrahedral amorphous Carbon (a-C)はsp³結合を含む水素フリーのファスカーボンで、その評価には深紫外光励起ラマン分光法が有効であるとされている。しかし、深紫外光を照射することでta-Cは損傷を受ける。これまで損傷を調べるために温度による損傷などを調べたが、今回は損傷部を原子間力顕微鏡によって観察した。