16:00 〜 18:00 [14p-P11-3] 原子間力顕微鏡によるta-C薄膜深紫外線損傷部の観察 〇神津 知己1,3、山口 誠1、川口 雅弘2、吉村 雅満4 (1.秋田大学、2.都立産技研センター、3.イノコ株式会社、4.豊田工大)