[14p-P16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[14p-P16-1] 集束イオンビーム励起表面反応における上方成長精密制御

〇関根 瑞恵¹、前田 悦男¹、米谷 玲皇¹ (1.東大院工)

キーワード：集束イオンビーム、立体ナノ構造

本研究では、集束イオンビーム化学気相成長法による3次元構造作製手法の高精度化を目的とし、上方成長量を均一化して3次元構造を作製可能なCAMシステムを新たに構築した。この結果、ばね形状のピッチの標準偏差は82.1 nmから45.5 nmに改善された。この結果は本CAMシステムが3次元微細構造作製の高精度化に有効であることを示している。