[14p-P3-1~3] 6.1 強誘電体薄膜

[14p-P3-2] 強誘電体インクジェット成膜液の飛翔特性

〇山口 正樹^1,2、松岡 勇汰¹、増田 陽一郎³ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：インクジェット法、液滴

マスクレスによる薄膜パターンの形成は，強誘電体材料の応用において魅力的である．現在までに我々は，アルコール系溶液を用いたインクジェット成膜と，溶液の安定性改善を行ってきた．今回は溶液粘度による液滴飛翔に関する検討を行った．