[14p-P5-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P5-10] 試料操作のためのプラズモニック構造を用いた光束誘導

〇奥野 将人¹、米谷 玲皇¹、前田 悦男¹ (1.東大院工)

キーワード：プラズモニクス、試料操作法、光束誘導

本研究では，Micro-TAS (Total Analysis Systems) への応用を狙い，異方性プラズモニック構造による光束誘導を用いた新たな試料移動法を提案し，構造の設計を行った．また，表面増強ラマン散乱を用いて光電場増強位置を観察することにより，作製した構造の光束誘導性を評価した．設計，提案した異方性プラズモニック構造を活用することで，Micro-TASにおける新たな微小試料の輸送法の創出が期待される．