[14p-P5-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P5-3] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討

〇山根 大輔^1,4、小西 敏文²、佐布 晃昭²、伊藤 浩之^1,4、道正 志郎^1,4、石原 昇^1,4、曽根 正人^1,4、年吉 洋^3,4、益 一哉^1,4、町田 克之^2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ、差動検出構造