PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 コメント (0) 13:30 〜 15:30 [14p-P5-3] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討 〇山根 大輔1,4、小西 敏文2、佐布 晃昭2、伊藤 浩之1,4、道正 志郎1,4、石原 昇1,4、曽根 正人1,4、年吉 洋3,4、益 一哉1,4、町田 克之2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST) キーワード:MEMS、加速度センサ、差動検出構造