2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P5-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[14p-P5-3] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討

山根 大輔1,4、小西 敏文2、佐布 晃昭2、伊藤 浩之1,4、道正 志郎1,4、石原 昇1,4、曽根 正人1,4、年吉 洋3,4、益 一哉1,4、町田 克之2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード:MEMS、加速度センサ、差動検出構造