[14p-P9-1~18] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-P9-16] パワーモジュールの設計に関わる配線表皮効果のコンパクトモデリング

〇福田 浩一¹、佐藤 佳宏¹、服部 淳一¹、佐藤 弘¹、山口 浩¹ (1.産総研)

キーワード：SiC、表皮効果、コンパクトモデル

パワーモジュールの配線抵抗・インダクタンスは表皮効果などの影響を強く受け、モジュール性能のキーとなる。表皮効果を含む配線のコンパクトモデル化を検討した。