[14p-P9-1~18] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-P9-6] 水素ラジカルを用いた選択加熱によるn⁺ 4H-SiCへのオーミック電極形成

荒井 哲司¹、上村 和貴¹、山本 千綾¹、白倉 麻依¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、〇中川 清和¹、高松 利行²、荻野 正明³、立岡 正明³、中澤 治雄³ (1.山梨大学、2.株式会社SST、3.富士電機株式会社)

キーワード：SiC、オーミック電極