[14p-P9-1~18] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-P9-7] レーザアニールによる4H-SiC C面上のNi/Ti多層膜オーミックコンタクトの形成

〇ミランタ デシルワ¹、川崎 輝尚²、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広島大学ナノデバイス、2.住友重機械工業株式会社)

キーワード：SiC、オーミック、レーザアニール