[15a-A21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-A21-5] 常圧窒素雰囲気下における金属ガリウム原料からの窒化ガリウム微粒子結晶の析出

〇秋山 晋也¹、渡辺 誠¹、高橋 芳美¹、有馬 寛²、杉山 和正² (1.デクセリアルズ（株）、2.東北大学　金研)

キーワード：窒化ガリウム、液相

従来提案されてきた液相での窒化ガリウム結晶成長では高圧・高温下での結晶製造を行なう設備が必用であるために、単結晶基板の低コスト化を困難にする要因となっていた。今回の講演では窒化ガリウム単結晶を1気圧の窒素雰囲気下で成長させる方法を検討するために、金属ガリウムに窒化三鉄（Fe₃N）および窒化四鉄（Fe₄N）を加えた出発原料から窒化ガリウム微粒子を生成する実験を行なった。