[15a-A21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-A21-6] 窒化ガリウム単結晶の常圧窒素中LPE結晶成長

〇秋山 晋也¹、渡辺 誠¹、高橋 芳美¹、杉山 和正² (1.デクセリアルズ（株）、2.東北大学　金研)

キーワード：窒化ガリウム、液相

常圧下液相での窒化ガリウム単結晶の合成が可能となれば、圧力容器等が不要となり低コスト化が期待できる。本報告では、金属ガリウムと窒化鉄を出発原料として、1気圧の窒素雰囲気中で窒化ガリウム（GaN）単結晶の液相エピタキシャル結晶（LPE）成長実験を行った。