[15a-A22-1~11] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[15a-A22-1] Improvement in functionality of transparent V-doped ZnO conductive films by O₂ microaddition

〇Tomoyuki Kawashima¹, Katsuyoshi Washio¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:ZnO, Vanadium, TCO

V添加ZnO（VZO）透明導電膜中のドナーは、Vが間接的に生成した浅い準位を形成する格子間亜鉛（Zn_i）のような欠陥であるが、その他にも酸素空孔（V_O）のような深い欠陥も生成しており、それらがVZOの電気伝導度や光透過率を劣化させている。本研究では、微量酸素混合スパッタリングガスを用いてVZO透明導電膜の機能改善を図り、可視光透過率と抵抗率を同時に改善する条件を見出した。