[15a-A22-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-A22-3] アフターアークプラズマ型酸素負イオン照射装置の開発

〇北見 尚久^1,2、酒見 俊之¹、野本 淳一²、牧野 久雄^2,3、青木 康¹、山本 哲也² (1.住友重機械、2.高知工科大総研、3.高知工科大システム工)

キーワード：酸素負イオン、酸素負イオン照射、プラズマ診断