[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-3] 長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅰ) –固液界面上の欠陥種-

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹、白井 光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：CZシリコン、点欠陥