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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2016年9月15日(木) 09:00 〜 11:45 A23 (201B)

沓掛健太朗(東北大)、河合宏樹(東芝)

09:45 〜 10:00

[15a-A23-4] 長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅱ) –1000℃以下領域の欠陥種-

〇阿部孝夫¹、高橋徹¹、白井光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：CZシリコン、点欠陥