[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-7] 超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハのボイド欠陥消滅挙動

〇須藤 治生¹、荒木 浩司¹、青木 竜彦¹、仙田 剛士¹、前田 進¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：急速昇降温熱処理、ボイド欠陥