[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-9] 超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハの酸素析出挙動

〇前田 進¹、須藤 治生¹、荒木 浩司¹、斉藤 広幸¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：急速昇降温熱処理、酸素析出、格子間シリコン