[15a-A24-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-A24-6] 単結晶シリコンの品質に及ぼす炭素と酸素析出の影響

〇正田 勲¹、橘 昇二¹、飯田 伸仁¹、西島 英一¹、小島 拓人²、中村 京太郎²、小椋 厚志²、大下 祥雄³ (1.トクヤマ、2.明治大理工、3.豊田工大)

キーワード：シリコン、太陽電池、酸素析出

太陽電池製造の加熱プロセスにおける酸素析出が、基板のキャリアライフタイム劣化の原因となる。結晶中の炭素濃度と結晶引上げ条件が、変換効率や開放電圧のセル特性に影響を及ぼす。炭素濃度と結晶引上げ条件の異なるウェハを使用してセルを作製し、セル工程途中で基板を抜き取り、ライフタイムの変化を調べた。セル化技術が進歩して変換効率が向上してくれば、基板の品質の差がよりセル性能に顕れてくる。