[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15a-A26-10] 軟X線照射によるSi含有水素化DLC膜の膜改質の温度依存性

〇田中 祥太郎¹、岡田 真¹、神田 一浩¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：Si-DLC、軟X線、宇宙