[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A26-9] ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上

〇西川 純平¹、中野 雅之²、稗田 純子³、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東京工業大、2.東京高専、3.名古屋大)

キーワード：アモルファス炭素膜、腐食、表面プラズモン共鳴

アモルファス炭素膜は優れた機械的特性に加え，酸やアルカリに対しても高い耐性を有するが，硝酸等の一部の酸には腐食される．アモルファス炭素膜はsp²とsp³結合性炭素および水素からなり，炭素および水素に加え第三元素の添加により膜の性質を変化させることができる．本研究はケイ素を添加したアモルファス炭素膜を作製しその硝酸に対する耐食性能を表面プラズモン共鳴を利用した膜の厚さの変化の測定から評価した．