[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A26-4] レーザ照射処理をしたアモルファス窒化炭素の発光スペクトルの温度依存性

〇中村 圭佑¹、福井 一俊¹、山本 晃司²、財部 健一³、中村 重之⁴、伊藤 國雄⁵、山本 伸一⁵、澤畠 淳二⁶、佐竹 聖樹⁷ (1.福井大工、2.福井大遠赤セ、3.岡理大理、4.津山高専、5.龍谷大工、6.茨城高専、7.明石高専)

キーワード：窒化炭素、非晶質

我々はアモルファス窒化炭素 (a-CN_x) が可視域に広い発光を示すことから、優れた演色性を持ちかつ蛍光体フリーの安価な白色LED用材料の一つとして注目している。これまで主にレーザ照射処理を行ったa-CN_xスパッタ薄膜の発光特性について報告してきた。本報告では主にレーザ照射処理を行ったa-CN_xスパッタ薄膜の発光スペクトルの温度依存性測定の結果を報告する。