[15a-A26-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

△ [15a-A26-7] Film properties change by soft X-ray irradiation on the surface of fluorinated DLC films

〇Hiroki Takamatsu^1,2, Eri Miura¹, Kazuhiro Kanda^1,2 (1.Univ. Hyogo, 2.Lasti)

Keywords:fluorinated DLC, nano indenter, soft X-ray

フッ素含有DLC(以後F-DLC)薄膜は、生体親和性や低表面自由エネルギー、優れたガスバリア性を示し、人工血管や金型の離型剤として応用されている。他元素を含有したDLC薄膜においてはX線耐性評価についての報告があるが、F-DLC薄膜への軟X線照射に関しては過去に報告例がない。本研究ではF-DLC薄膜に軟X線放射光の照射を行い、押し込み試験器による硬度測定により、F-DLC薄膜表面の組成や構造変化と膜特性の関係について評価した。