[15a-A31-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15a-A31-1] RFスパッタによる酸化亜鉛薄膜作製及び基板依存性の分析

〇井本 健太郎¹、侯 聖文¹、李 朝陽^1,2 (1.高知工科大、2.ナノテクノロジーセンター)

キーワード：酸化亜鉛薄膜、基板依存性、RFスパッタ

紫外線領域において吸収特性をもち、可視光領域においては高い透過率有する。また資源として豊富であるため安価な材料としても注目されており、色々なデバイスなどへの応用が可能であると考えられる。本研究は酸化亜鉛薄膜を電子デバイスへ応用するため、RFマグネトロンスパッタで酸化亜鉛薄膜を成膜し、異なる基板上の酸化亜鉛薄膜評価を行うことにより結晶構造特性と光学特性による基板への影響を調べた。