[15a-A35-1~10] 9.4 熱電変換

[15a-A35-8] 石英ガラス中の直径110 nm Biナノワイヤーへの端部電極形成

〇村田 正行¹、山本 淳¹、長谷川 靖洋²、小峰 啓史³ (1.産総研、2.埼玉大、3.茨城大)

キーワード：熱電変換、ナノワイヤー、ビスマス

熱電変換材料をナノワイヤー形状にすることによって，量子閉じ込め効果に伴った無次元性能指数の向上が理論的に予想されている.しかしながら，これまでにナノワイヤーへの量子閉じ込め効果による性能指数の向上は，実験的には観測されていない.そこで本研究グループでは，石英ガラス製のテンプレートを利用してBiナノワイヤーの開発を行い，熱電物性を測定してきた．さらに，FIB-SEMデュアルビーム装置を利用することで，ナノワイヤー側面の局所的な露出と電極の作製に成功し，ホール係数の測定によるキャリア移動度の評価にも成功した．本研究ではこれまでで最も直径の小さい，110 nmのナノワイヤーへの端部電極への形成を行った．