[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [15a-B10-8] ＥＬＡ（エキシマレーザアニール）による接合型Ｓｉ太陽電池の表面反射防止膜による特性の向上

〇鈴木 仁¹、楊 天熙¹、岡田 竜弥¹、野口 隆¹、河本 直哉² (1.琉大工、2.山口大工)

キーワード：太陽電池、反射防止膜、エキシマレーザー