10:15 〜 10:30
[15a-B2-2] バッチ式湿式洗浄槽における水噴出ノズル設計
キーワード:湿式洗浄槽、水噴出ノズル、水流設計
湿式洗浄機の洗浄効率を高めるためには槽内の循環流を抑えることが効果的である。そこで我々は、これまでにノズルの中央を最速として左右対称に水を噴出させる方法を検討している。本研究では、ノズル内部に直管を挿入した場合の水噴出初速度分布について、数値解析と可視化観察により調査したので、その詳細を報告する。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
2016年9月15日(木) 10:00 〜 12:15 B2 (展示ホール内)
有馬 健太(阪大)
10:15 〜 10:30
キーワード:湿式洗浄槽、水噴出ノズル、水流設計