[15a-B5-1~12] 12.1 作製・構造制御

[15a-B5-9] イオン穿孔膜をテンプレートとした白金ナノコーンアレイの作製

〇越川 博¹、佐藤 裕真²、山本 春也¹、杉本 雅樹¹、澤田 真一¹、八巻 徹也¹ (1.量研機構高崎研、2.群馬大学理工)

キーワード：ナノコーンアレイ、イオン穿孔膜、電気めっき

高分子膜に数百MeVに加速したイオンを照射することで、直径数十nm、長さ数十μmの潜在飛跡を形成できる。本研究では、この膜をエッチングすることで円すい状の穿孔を形成し、この穿孔内に金属を析出させ、金属ナノコーンアレイを作製することを目的としている。今回は白金を電気めっきにより析出し、その白金ナノコーンの形状をSEM観察により確認した。またXRDパターンからPtの多結晶であることを確認した。