[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

[15a-B7-2] マイクロ波励起の水プラズマアッシングプロセスにおける時分解発光分光計測

〇北野 卓也¹、鈴木 宏明¹、塩田 有波¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹ (1.金沢大)

キーワード：水プラズマアッシング、レジスト除去、分光診断

水プラズマアッシング法は，超純水を原料ガスとしたマイクロ波励起の水プラズマを生成し，ウェハを直接冷却する環境下でレジスト除去を行うことが特徴である。本手法の実用化を進める上で，レジスト除去のメカニズムを解明し，水プラズマの生成と制御に対するフィードバックを行うことが重要である。本報ではレジスト除去メカニズムの検討のため，水プラズマアッシングプロセスにおける時分解の発光分光計測を行ったので報告する。