[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [15a-B7-5] 円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマの生成Ⅲ

〇(M2)長谷川 雄一¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、パーク スーナム²、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)

キーワード：円筒キャビティ、マイクロ波プラズマ、固体アンプ