10:00 〜 10:15 △ [15a-B7-5] 円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマの生成Ⅲ 〇(M2)長谷川 雄一1、小川 大輔1、中村 圭二1、パーク スーナム2、小林 理2、菅井 秀郎3 (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)