[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

[15a-B7-8] 交番磁場印加による大気圧熱プラズマジェットの走査と半導体基板の加熱

〇寺本 憲司¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先端研)

キーワード：プラズマジェット