2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[15a-C302-1~12] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:15 C302 (日航30階鳳凰)

加藤 智久(産総研)

09:45 〜 10:00

[15a-C302-4] Si(110)上3C-SiC(111)薄膜の結晶方位回転成長

高橋 謙介1、横山 大1、フィリモノフ セルゲイ2、長澤 弘幸1、吹留 博一1、末光 眞希1 (1.東北大通研、2.トムスク大)

キーワード:SiC