[15a-P3-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[15a-P3-3] レーザープラズマEUV光によるPDMSシートへのマイクロ貫通孔の作製

〇浦井 ひかり¹、小川 瑞生¹、深見 慎太郎¹、牧村 哲也¹、新納 弘之² (1.筑波大数理、2.産総研)

キーワード：微細加工、PDMS