[15a-P5-1~14] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[15a-P5-2] Surface-enhanced Raman scattering properties of titanium nitride nanostructure

〇Satoshi Emoto¹, Yuji Hirai¹, Yasutaka Matsuo², Hideyuki Mitomo², Kenichi Niikura², Kuniharu Ijiro² (1.Chitose sci.tech Univ., 2.RIES Hokkaido Univ.)

Keywords:Raman scattering, electron beam (EB) lithography

貴金属ナノ構造に光を照射することで局在表面プラズモン共鳴を誘起し、高感度にラマン散乱光を測定する表面増強ラマン散乱(SERS)の研究がされているが、貴金属を使うことで大量生産や低コスト化に問題がある。最近、貴金属以外に可視光域にプラズモンを有する材料としてチタン窒化物(TiN)が報告されたが、SERS特性について明らかになっていない。本報告では電子線リソグラフィによりTiNナノ構造を作製し、SERS特性について検討を行った。