[15a-P5-1~14] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15a-P5-2] チタン窒化物ナノ構造による表面増強ラマン散乱特性の検討

〇江本 智¹、平井 悠司¹、松尾 保孝²、三友 秀之²、新倉 謙一²、居城 邦治² (1.千歳科技大、2.北大電子研)

キーワード：ラマン散乱、電子線リソグラフィ

貴金属ナノ構造に光を照射することで局在表面プラズモン共鳴を誘起し、高感度にラマン散乱光を測定する表面増強ラマン散乱(SERS)の研究がされているが、貴金属を使うことで大量生産や低コスト化に問題がある。最近、貴金属以外に可視光域にプラズモンを有する材料としてチタン窒化物(TiN)が報告されたが、SERS特性について明らかになっていない。本報告では電子線リソグラフィによりTiNナノ構造を作製し、SERS特性について検討を行った。