[15a-P6-1~6] 3.13 半導体光デバイス

[15a-P6-5] スローライト効果を用いた半導体薄膜光検出器の周波数帯域の検討

〇顧 之チン¹、井上 大輔¹、平谷 拓生¹、雨宮 智宏^1,2、西山 伸彦^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大工、2.東工大科創研)

キーワード：フォトニック結晶、フォトダイオード

近年のLSI内素子の微細化に伴う問題の解決策として、光配線が注目されている。そこで我々は、半導体薄膜光集積回路をLSI上にハイブリッド実装する技術を提案しており、光源をはじめとした一連の光素子の研究を行っている。光検出器は、回路全体の性能を律速する要因にもなっており、高速化・高感度化を同時に実現するような構造が強く望まれている。このため、フォトニック結晶薄膜光検出器が提案され、高い光閉じ込め構造を用いることによる小型化が実現されている。
本研究では、フォトニック結晶のスローライト効果を利用した、素子長および周波数帯域について理論的に検討したので、ご報告する。