[15a-P8-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[15a-P8-5] Ca原子層を介したSi(111)基板上Geエピタキシャル成長

〇安武 裕輔^1,2、深津 晋¹ (1.東大院総合、2.JSTさきがけ)

キーワード：ゲルマニウム、エピタキシャル