[15a-P8-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[15a-P8-7] 微結晶シリコン導波路におけるキャリア寿命測定

〇前川 佑一¹、武井 亮平²、庄司 雄哉¹、水本 哲弥¹、亀井 利浩² (1.東工大、2.産総研)

キーワード：微結晶シリコン