[15a-P9-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[15a-P9-7] AAO鋳型を用いた制御可能なナノ構造を有するQCMの創製

〇浅井 直人¹、伊藤 健¹、清水 智弘¹、新宮原 正三¹ (1.関西大理工)

キーワード：ナノ構造

水晶振動子マイクロバランス(QCM)センサは、リアルタイム測定可能、高感度、小型、安価であることから、ガスセンサやバイオセンサに利用されてきた。しかし、重量変化を検出するため、分子量の小さい物質を高感度に検出できない欠点がある。しかし、センサ電極上に任意の薄膜または構造を形成することで表面積を増加させ、センサ感度を向上させることができると考えられる。本研究では、水晶振動子電極上にナノ構造を形成し、その比表面積の増大によるセンサ感度の上昇を目指した。