[15p-A22-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15p-A22-13] 酸化亜鉛薄膜ガスセンサ特性の結晶面依存性

〇安達 裕¹、坂口 勲¹、鈴木 拓¹、齋藤 紀子¹ (1.物材機構)

キーワード：半導体ガスセンサ

本研究では、ZnO各結晶面のセンサ特性に関する知見を得るために、ZnOのc(+)面、c(-)面、a面、m面が最表面になったエピタキシャル薄膜を作製し、そのガスセンサ特性の評価を試みた。その結果、c(-)面が最もエタノールガスに対して高感度であることがわかった。