[15p-A22-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15p-A22-14] ナノインプリント法によるシクロオレフィンポリマーを用いた酸化亜鉛系薄膜のダイレクトパターンニング

〇ハナキ アブドゥラ¹、木村 史哉¹、永山 幸希¹、芦田 浩平¹、孫 屹¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹ (1.阪工大ナノ材研)

キーワード：ナノインプリント、酸化亜鉛