[15p-A22-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15p-A22-15] Ga 添加 ZnO 薄膜における近赤外光波長領域での光学損失：プラズモニクス応用へ

〇山本 哲也¹、野本 淳一¹、牧野 久雄¹ (1.高知工科大総研)

キーワード：酸化亜鉛透明導電膜、プラズモニクス、光学損失

近赤外光波長領域（例：波長=1.5 μm）での低光学損失を必要不可欠とするプラズモニクス応用を目的とし、その候補基材としてのGa添加ZnO (GZO) 薄膜における光学特性について報告する。得られた波長=1.5 μmでの光学損失は 0.43 といった非常に小さいものが得られた。