[15p-A22-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15p-A22-2] アモルファス酸化物蛍光体薄膜の多色化と電子構造

〇渡邉 脩人¹、Kim Junghwan²、井手 啓介¹、平松 秀典^1,2、細野 秀雄^1,2、神谷 利夫^1,2 (1.東工大 フロンティア研、2.東工大 元素セ)

キーワード：アモルファス酸化物半導体、蛍光体、薄膜

我々はアモルファス酸化物半導体a-In-Ga-Zn-OにEuを添加することで、室温成膜のみでも良好な赤色発光を示す蛍光体薄膜が得られることを報告してきた。本研究では、希土類を変えて調べることにより、Tb添加で緑色の発光に成功したので報告する。また、HAXPES及び共鳴光電子分光により、その電子構造を観測した。