講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2016年9月15日(木) 13:15 〜 18:45 A23 (201B)

前田貴弘(グローバルウェーハズ・ジャパン)、小島拓人(明治大)、大野裕(東北大)

16:30 〜 16:45

[15p-A23-13] DLTS法を用いたSi基板中の微量炭素測定

〇江里口和隆¹、三次伯知¹、佐俣秀一¹ (1.SUMCO)

キーワード：DLTS、Si基板、炭素汚染